Измерение параметров пароструйных магнитных электроразрядных и геттерно-ионных насосов

Измерение параметров пароструйных магнитных электроразрядных и геттерно-ионных насосов

658
0

измерение характеристик магниторазрядных насосовОсобенность испытаний геттерных, геттерно-ионных и магниторазрядных, насосов состоит в том, что измерения в них потока газа при замерах быстроты действия обычно выполняются с помощью диафрагмы. Для таких проверок используют измерительный колпак, состоящий из измерительной и напускной камер, которые разделяют диафрагмой. Напускную камеру используют в качестве стандартного измерительного колпака, посредством которого, например, выполняют измерения быстродействия диффузионных насосов, используемых в прогреваемых системах. В измерительную камеру вместо торцевой стенки, оборудованной напускной трубкой с высотой 1D, устанавливают фланец, «ответный» фланцу на напускной камере. Это основное отличие конструкции измерительного колпака.

Для проведения испытаний собирается вакуумная установка на заказ, представленной на рисунке 9.10.

При проведении испытаний определяют характеристики:

  1. предельного остаточного давления;
  2. быстроты действия;
  3. наибольших давлений: рабочего процесса и запуска.

Последовательность проведения испытаний по оценке быстроты действия и предельного остаточного давления такая же, как и во время испытаний у диффузионных насосов. В заключительной части испытания быстроты действия проводят замер наибольшего значения рабочего давления. Испытания заканчивают измерением наибольшего давления запуска. Методика и последовательность проведения испытаний для измерений наибольших величин рабочего давления и запуска рассмотрены в этой статье.

Такими же способами выполняют испытания геттерных насосов.

При необходимости измерения основных вакуумных характеристик во время откачки определенного вида газа к натекателю на измерительный колпак устанавливают систему напуска для пробного газа и до испытаний промывают всю систему пробным газом. Процесс промывки состоит в подаче внутрь работающего насоса пробного газа через натекатель 4, показанный на схеме 9-10. При этом внутри измерительного колпака создают давление порядка 10-4 Па или 10-6 мм рт ст. Некоторое время насос выдерживают в этом режиме, а затем выполняют измерения вакуумных характеристик. Методика и последовательность измерений не изменяются, остаются прежними.

НЕТ КОММЕНТАРИЕВ

ОТВЕТИТЬ