Конструктивные особенности электродного блока магниторазрядного насоса НЭМ

Конструктивные особенности электродного блока магниторазрядного насоса НЭМ

911
0

Электродный блок насосов типа НЭМНиже будет рассмотрен ряд конструктивных особенностей электродного блока насоса НЭМ. В его оснастке имеются титановые катоды, ячеистые аноды. В качестве материала производители для изготовления анодов используют нержавеющую сталь. Соединение ячеистых анодов жесткое. Их разделяют керамические изоляторы. Для размещения анодов производители предусмотрели в корпусе соответствующие карманы. Подача высокого положительного напряжения (7 тыс. В) на аноды осуществляется за счет высоковольтных вакуумных электрических вводов. Катоды характеризуются надежным электрическим контактом с корпусом (заземление), что делает эксплуатацию оборудования более безопасным. Внешняя сторона корпуса оснащена постоянными оксидно-бариевыми магнитами, которые создают в зазоре напряженность поля 56 тыс. А/м.

Что касается электродного блока насоса НОРД, то он представлен парой катодов, одним анодом, для охлаждения которого используется вода. Анод имеет ячейки, которые совпадают с просверленными катодными отверстиями. Имеющиеся катодные отверстия, охлаждающиеся аноды стали причиной возможности использования более мощного источника питания и соответственно повышения давления при запуске. Для электродных блоков в корпусе предусмотрены карманы. В качестве крепежных элементов для блоков служат вакуумные водяные вводы, которые в свою очередь подводят к анодам хладагент (воду). Насосы, имеющие охлаждаемые аноды, в сравнении с насосами НЭМ характеризуются более высоким отрицательным напряжением (- 7 тыс. В), которое воспринимается изолированными от корпуса катодами.

Насос НЭМ-100-2 с блоком питанияНапомним, что диодные магниторазрядные насосы не лишены недостатков. Из них следует выделить незначительную быстроту действия в случаях с инертными газами. Для триодных магниторазрядных моделей такой недостаток нехарактерен, но в редких случаях может иметь место. Триодные магниторазрядные насосы укомплектованы электродным блоком, который образован анодом (расположен в середине) и парой катодов. Роль коллектора принадлежит корпусу.

Расположение магнитов в магниторазрядном насосеСтруктура катодов ячеистая. Эта конструктивная особенность является причиной острого угла бомбардировки катода положительными ионами. Прямой угол бомбардировки свойственен ионам диодных насосов. Изменение угла положительно сказалось на распылении частиц титана, равномерно осаждаемого на поверхности корпуса. Триодная схема, ячеистая структура катодов позволяет некоторым ионам, находящимся у анода, достигать корпуса (коллектора). Следует отметить, что ионы, которые добрались до корпуса, имеют малую энергию, они не в состоянии вызвать повторное распыление титановых частиц с поверхности корпуса. Однопотенциальная триодная схема насоса отличается повышенной быстротой действия при работе с инертными газами. Если откачивается аргон, то величина данного показателя составляет как минимум 30% от таковой при воздухе.

Схема триодного магниторазрядного насосаВ качестве хладагента для анода, коллектора триодной магниторазрядной модели насоса, например, ТРИОН-150 в области высоких впускных давлений используется вода, а в области низких давлений – жидкий азот. Следствием такой особенности охлаждения стало повышение наибольшего давления запуска, а также заметное уменьшение предельного остаточного давления.

Из характеристик таких насосов особое внимание уделяют быстроте действия, предельному остаточному давлению, максимальному давлению запуска, наибольшему рабочему давлению. На величину каждого из этих показателей в первую очередь влияет геометрия разрядных ячеек, затем параметры питания, напряженность магнитного поля.

Триодный магниторазрядный насос ТРИОН-150

Для охлаждаемых насосов характерна большая быстрота действия на фоне высокого впускного давления. Охлаждение в данном случае никак не сказывается на различии в максимальном положении быстроты действия. Основным фактором, определяющим данное различие, является геометрия разрядных ячеек. На ток разряда влияет давление. Он наряду с быстротой действия в сравнении с прочими характеристиками (наибольшим давлением запуска, наибольшим рабочим давлением, предельным остаточным давлением) более стабилен.

Зависимость быстроты действия и тока разряда магниторазрядных насосов от давления

НЕТ КОММЕНТАРИЕВ

ОТВЕТИТЬ