Проводимость вакуумной арматуры

Проводимость вакуумной арматуры

650
0

проводимость вакуумной арматурыЗамер проводимости вакуумной арматуры  связан с созданием сопротивления газовому потоку и сводится к определению потока газа, пропускаемого сквозь испытуемый элемент, и давлений газа с обеих сторон от испытуемого элемента.

На рисунке 9-4 приведена схема установки, позволяющая определять про­водимость вакуумной арматуры.

Значение проводимости испытуемого элемента определяется по формуле:

U=Q/(P2-P1),

где U — величина проводимости испытуемого элемента, м3/с; Q — значение потока газа, измеренного ротаметром или бюреткой, Вт; Р1 и Р2 — величины давлений газа внутри измерительных патрубков, Па.

Определение малых величин для газовых потоков при измерениях проводимости арматуры в диапазоне сверхвысокого вакуума проще выполнять с помощью диафрагмы. Для этого между измерительным колпаком 5 и патрубком 2″ монтируется диафрагма с калиброванным круглым отверстием, обеспечивающем проводимость, примерно равную ожидаемой проводимости у испытуемого элемента.

При расчете проводимости используют формулу, м3/с:

U=Uд·(P3-P2)/(P2-P1)

где Uд — величина проводимости через диафрагму при молекулярном режиме течения газа, определенная по диаметру отверстия, м3/с; а P1, P2 и Р2 — значения давлений газа, замеренные в соответствующих измерительных патрубках 21 и 21 и измерительном колпаке 5, Па.

 

 

НЕТ КОММЕНТАРИЕВ

ОТВЕТИТЬ