Вакуумные системы, использующие магнитные электроразрядные насосы

Вакуумные системы, использующие магнитные электроразрядные насосы

780
0

Вакуумные системы с магниторазрядными насосами намного чаще используется в лабораторных целях, чем в промышленных установках благодаря использованию адсорбционных насосов, нуждающихся в охлаждении жидким азотом и периодичной регенерации сорбента, что создает неудобства в условиях производства.

Установка двух цеолитовых насосов 1 и 2 с предварительным разрежением обеспечивает непрерывность в работе и широкие возможности для системы предварительного разрежения. Использование магнитного электроразрядного насоса в качестве основного позволяет легко достигать значений сверхвысокого вакуума.

При подготовке установки к работе ее высоковакуумная часть обезгаживается. Эта технология описана в § 4.

Последовательность запуска установки:

  1. Запускают цеолитовый насос по правилам, описанным выше для создания предварительного разрежения в рабочей камере установки.
  2. Закрывают клапан 5.
  3. Включают магниторазрядный насос.
  4. Наблюдают понижение давления в рабочей камере. Если оно начинает заметно расти, то подготовка магниторазрядного насоса выполнена плохо. Необходимо:
  • открыть клапан 5;
  • начать одновременную откачку газовой среды из рабочей камеры цеолитовым и магниторазрядным насосами;
  • наблюдать совместную откачку до начала снижения давления;
  • закрыть клапан 5;
  • контролировать откачку одним магниторазрядным насосом.

На практике возможен случай, когда снижение давления не происходит длительное время. В этом случае магниторазрядный насос значительно нагревается. Чтобы сохранить работоспособность потребуется его периодически выключать, предоставляя возможность для остывания. Если за 2÷3 часа от включения магниторазрядного насоса внутри установки не создается высокий вакуум, то необходимо произвести повторное обезгаживание, а в отдельных случаях и чистку всех полостей высоковакуумной части установки с предварительной проверкой ее на герметичность.

Для выключения вакуумной установки необходимо:

  • отключить магниторазрядный насос;
  • перекрыть все клапаны;
  • удалить жидкий азот из магистралей цеолитовых насосов.

До вскрытия рабочей камеры на атмосферное давление в нее на непродолжительное время напускают сухой азот. Это позволяет при последующем включении установки уменьшить время откачки и быстрее достичь пределов давления, близких к предельному остаточному значению, без предварительного прогрева установки. Такое требование обязательно ко всем высоковакуумным установкам. Для них напуск сухого азота в определенной мере препятствует образованию конденсата влаги от атмосферного воздуха на всех внутренних поверхностях деталей вакуумной системы.

Вакуумные системы, использующие магнитные электроразрядные насосы по схеме, приведенной в пункте 6 таблицы 8-1

Они практически полностью повторяют конструкции, выполненные по схеме, показанной пунктом 5 таблицы 8-1, но обладают отличием: предварительное разрежение выполняется механическим насосом 1 и сорбционной ловушкой 4.

Это разрешает легко автоматизировать работу установки, но увеличивает значение предельного остаточного давления потому, что, несмотря на использование ловушки, пары масла все равно проникают в рабочую камеру, загрязняя ее магистрали и отравляя полости магниторазрядного насоса.

НЕТ КОММЕНТАРИЕВ

ОТВЕТИТЬ