Вакуумные системы, работающие с турбомолекулярными насосами: запуск, выключение, эксплуатация

Вакуумные системы, работающие с турбомолекулярными насосами: запуск, выключение, эксплуатация

1044
0

Вакуумные системы с турбомолекулярными насосами показаны на схеме, расположенной в таблице 8-1, пункт 1. Их считают безмасляными системами. Это объясняется тем, что при запуске турбомолекулярного насоса с давления 101 Па или 10-1 мм рт. ст. и предварительной байпасной откачке из сосуда механическим насосом до значения давления, не меньшего чем 101 Па или мм рт. ст. обычные способы анализов состава газов (посредством омегатрона) не выявляют в спектре остаточных газов признаки тяжелых углеводородов.

Это позволяет упрощать установку: устанавливать натекатель между всасывающим патрубком у турбомолекулярного насоса и затвором, что освобождает оператора от постоянного контроля за работой установки для своевременного отключения предварительной откачки, с целью предотвращения замасливания откачиваемого сосуда.

Поступление дозированного потока воздуха, создающего на входе в форвакуумный насос давление 101 Па или 10-1 мм рт. ст. подавляет встречный поток паров масла из магистралей низковакуумного насоса. К тому же сам турбомолекулярный насос после запуска работает хорошей преградой от попадания паров масла в полости откачиваемого сосуда. Поэтому необходимость подавления обратного потока углеводородов практически отпадает. Прямая подача воздуха внутрь всасывающего патрубка насоса ускоряет торможение ротора при его остановке.

Последовательность запуска установки:

  1. Включают механический низковакуумный насос 1 (Обычные конструкции с масляным уплотнением).
  2. Открывают клапан-натекатель 6.
  3. Открывают клапан 2 и затвор 5.
  4. Производят откачку полного объема до величины давлений 101 Па или мм рт ст.
  5. Включают в работу турбомолекулярный насос.
  6. Закрывают натекатель.

Последовательность выключения установки:

  1. Закрывают затвор 5.
  2. Выключают турбомолекулярный насос.
  3. Открывают натекатель.
  4. Ожидают остановку ротора насоса и закрывают клапан.
  5. Закрывают натекатель.
  6. Выключают форвакуумный насос.
  7. Открывают клапан 3.
  8. Ожидают напуска атмосферного давления в механический насос и его закрытия.
  9. Байпасную откачку из откачиваемого сосуда 8 во время работы турбомолекулярного насоса производят через байпасную магистраль с клапаном 7 при закрытых положениях клапана 2 и затвора 5.

Для создания сверхвысокого вакуума весь откачиваемый сосуд должен подвергаться прогреву. Часто прогрев рабочей камеры производят при работающем турбомолекулярном насосе с одновременным нагревом корпуса насоса до температур, не превышающих 100 °С. Бо́льшие нагревы корпуса не рекомендуются: существует опасность рекристаллизации сплавов алюминия, из которых выполнены статорные и роторные диски.

НЕТ КОММЕНТАРИЕВ

ОТВЕТИТЬ