Вакуумные установки: устройство типовых схем и последовательность запуска

Вакуумные установки: устройство типовых схем и последовательность запуска

2291
0

Вакуум создается для лабораторных исследований, физических экспериментов, выполнения определенных технологических задач при производстве электронных приборов, материалов или решения иных специфичных задач.

Широкий диапазон условий применения вакуума обеспечивает многообразие конструкций установок для его создания по значениям производительности, давления среды, состава остаточных газов. Конструкция и схема вакуумной системы создается под конкретные производственные задачи, каждый раз отличается числом и назначением входящих в нее элементов.

Вакуумные установки выпускаются с рабочей камерой или же без нее. Встроенная рабочая камера используется:

  • лабораторными установками;
  • печами отжига;
  • станками вакуумной обработки металлов;
  • приборами, использующими сублимационную технологию и другими устройствами.

Отсутствие рабочей камеры не влияет на схему вакуумной установки. Такие конструкции просто имеют фланец или гнездо для присоединения к обрабатываемому изделию. Они часто используются в откачных постах, предназначенных для выпуска электровакуумных ламп и промышленных приборов.

Схемы вакуумных систем изготавливаются по двум различным принципам использования насосов откачки:

  1. газоперемещения;
  2. сорбции.

Первые схемы работают при последовательном подключении низковакуумного и высоковакуумного насосов между собой. Вторые конструкции используют только параллельное соединение. Типовое устройство вакуумных схем приведены в таблице 8.1, а принятые в них обозначения в показаны приложением №11.

Типовые схемы исполнения вакуумных систем

Таблица 8.1. Типовые схемы высоковакуумных систем.

Схема вакуумной установки с диффузионным насосом

Краткая характеристика вакуумной установки с диффузионным насосом

Схема вакуумной установки с магнитным электроразрядным насосом

Подробное описание установки с магнитным электроразрядным насосом

Схема вакуумной системы

Принцип работы высоковакуумного насоса влияет на схему построения общей системы, а другие элементы: насос, рабочая камера и требуемое рабочее давление определяют сложность конструкции, способной создавать низкий, высокий или сверхвысокий вакуум.

Степень создаваемого разрежения вместе с производительностью насоса предъявляет требования по:

  1. герметичности системы;
  2. общему газовыделению конструкционными материалами;
  3. применимости различных элементов для вакуумной системы.

Как вариант различия конструкций приведены примеры:

1. Для запорной арматуры и соединения элементов используют уплотнители внутри
установок:

  • низкого вакуума — эластомерные материалы;
  • высокого и сверх высокого вакуума — только металлические детали.

2. Конструкция вильсоновского уплотнения у вводов движения применяется для
установок низкого и высокого вакуума.

3. Для большинства высоковакуумных и сверхвысоковакуумных установок используют вводы движения с разделительной сильфонной перегородкой и различными магнитными муфтами и приводами.

4. У сверхвысоковакуумных установок всегда предусмотрен полный прогрев высоковакуумной части, что в низковакуумных установках не делают никогда.

НЕТ КОММЕНТАРИЕВ

ОТВЕТИТЬ